真空測量的分類有哪些？怎樣測量真空度？

真空測量是在低于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓時，對氣體或蒸氣全壓的測量。真空計是測量低于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體或蒸氣壓力的儀器。它由測量儀表、連接導(dǎo)線和傳感器組成。測最101325~133.32Pa(760~1Torr)范圍的壓強(qiáng)可用壓差真空計，而低于133Pa(1Torr)的則需利用氣體的其他物理特性的真空計來測量。壓力是一個力學(xué)量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術(shù)中，測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低，如有時要測10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象，然后測量這個過程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量，再設(shè)法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮，使其壓力增高，測出增高后的壓力，再根據(jù)壓縮比計算出原來的壓力值，這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲，測量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果，如熱絲溫度、電阻變化等，這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離，用測得的離子流反應(yīng)壓力，這就是電離真空計。

真空測量的分類有哪些?

被測氣體除少數(shù)情況外，多為混合氣體。上述壓力測量是指混合氣體全壓力測量。在近代真空測量技術(shù)中，分壓力測量越來越重要。這里所說的分壓力測量是指全面地測出混合氣體各組成成分的分壓力。這樣，混合氣體的全壓力就等于其各組成成分的分壓力之和。

現(xiàn)代分壓力真空計都屬于電離類，即先將氣體電離，然后將所得的各成分離子加速，再把離子引進(jìn)分析器，將離子分開，分別測出各成分離子流強(qiáng)度，便可知?dú)怏w的成分和數(shù)量，分析器有磁的、電的、電磁結(jié)合的和其他方式的。有時只需知曉被測系統(tǒng)殘余氣體成分和相對含量，并不要求測出分壓力值，這種儀器稱為殘余氣體分析儀。

怎樣測量真空度?

1、用絕對壓力、絕對真空度表示的真空度。絕對壓力表示的真空度一般采用的是絕壓表測量，絕壓表0點為絕對真空，所以一般暴露于空氣中的絕壓表顯示的就是當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ怠?/p>

2、用相對壓力、相對真空度換算的真空度。一般這種情況就是通過的相對壓力來表示的真空度。配置一塊大氣壓力表，精密數(shù)字壓力表，測量得到當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ担缓鬁y量出相對當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ担缓鬁y量出相對當(dāng)?shù)卮髿鈮毫Φ南鄬毫ΑＤ敲唇^對真空度我們就需要考慮當(dāng)?shù)卮髿鈮汉蜆?biāo)準(zhǔn)大氣壓的差值。然后計算得到絕對真空度。